簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="\u0026nbsp\u003B低溫多晶矽"


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    以線上光學監控技術量測與分析準分子雷射退火之低溫多晶矽製程參數研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 李箕峯 指導教授: 鄭正元
    • 本研究運用準分子雷射退火矽膜再結晶特性之線上光學雙檢測雷射系統即時檢測出非晶矽薄膜於準分子雷射退火期間反射率與穿透率之變異性,進而分析相關物理現象和量測矽膜融化時間;此外本研究亦改變矽膜厚度和基板預…
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